采用特殊的高能、高臭氧紫外光束照射廢氣，使有機(jī)或無機(jī)聚合物異味化合物分子鏈，在高能紫外光照射下，與臭氧發(fā)生反應(yīng)，如CO2、H2O。投資成本低，適用范圍廣，凈化效率高，操作簡單，除臭效果好，設(shè)備運行穩(wěn)定，占地少，運行成本低，無二次污染。

在工業(yè)生產(chǎn)過程中，排放的有機(jī)尾氣通過引風(fēng)機(jī)進(jìn)入設(shè)備的旋轉(zhuǎn)閥，通過選轉(zhuǎn)閥將進(jìn)口氣體和出口氣體*分開。氣體首先通過陶瓷材料填充層（底層）預(yù)熱后發(fā)生熱量的儲備和熱交換，其溫度幾乎達(dá)到催化層（中層）進(jìn)行催化氧化所設(shè)定的溫度，這時其中部分污染物氧化分解；廢氣繼續(xù)通過加熱區(qū)（上層，可采用電加熱方式或天然氣加熱方式）升溫，并維持在設(shè)定溫度；其再進(jìn)入催化層完成催化氧化反應(yīng)，即反應(yīng)生成CO2和H2O，并釋放大量的熱量，以達(dá)到預(yù)期的處理效果。